pneucleus 控制器 MCR-5ALC2000020O-01 技術(shù)參數(shù)

Maniflo質(zhì)量流量控制器的可定制流量范圍確保其能夠滿足各種應(yīng)用需求，適應(yīng)從極低到高達(dá)6000 SCCM的流量范圍。這種適應(yīng)性使其非常適合需要靈活控制氣體流量的工業(yè)應(yīng)用。無論是小型實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用還是大型工業(yè)系統(tǒng)，該控制器都可以進(jìn)行定制，以在各種設(shè)置下提供精確控制。線性誤差：Maniflo質(zhì)量流量控制器的線性誤差范圍僅為0.5至1.0% FS，確保高度準(zhǔn)確的氣體流量測量。這種精度對(duì)于即使輕微偏差也可能導(dǎo)致重大工藝中斷或效率降低的應(yīng)用至關(guān)重要。通過最小化測量誤差，它保證了氣體流量的穩(wěn)定性和一致性，確保最佳工藝性能。重復(fù)性：Maniflo質(zhì)量流量控制器具有出色的重復(fù)性，精度高達(dá)±0.15% FS，這對(duì)于保持一致的氣體流量控制至關(guān)重要。這種高重復(fù)性確保系統(tǒng)在相同條件下始終提供相同的流量，從而減少潛在的工藝變化。因此，工業(yè)界可以依賴其在需要長期穩(wěn)定、可重復(fù)流量的臨界應(yīng)用中的性能。響應(yīng)時(shí)間：Maniflo質(zhì)量流量控制器僅需40毫秒的快速響應(yīng)時(shí)間，使其能夠快速適應(yīng)流量條件的變化，非常適合需要快速校正的動(dòng)態(tài)系統(tǒng)。這種快速反應(yīng)可防止系統(tǒng)出現(xiàn)任何中斷，確保氣體流量保持在所需參數(shù)范圍內(nèi)。這種短響應(yīng)時(shí)間在對(duì)工藝穩(wěn)定性至關(guān)重要的應(yīng)用中特別有益，例如半導(dǎo)體制造或?qū)嶒?yàn)室實(shí)驗(yàn)。