VAT真空閥 21048-QE24-ABA2技術參數

遵守適用法規，并采取必要的預防措施
使用的工藝介質。
考慮材料（→6）和工藝之間可能發生的反應
媒體。
•遵守適用法規，并對所有人采取必要的預防措施
您將要做的工作，并考慮本文檔中的安全說明。
•開始工作前，請檢查是否有任何真空部件被污染。遵守相關規定并采取必要的預防措施
處理受污染的零件時。
將安全說明傳達給所有其他用戶。
如果壓縮空氣進入壓縮空氣連接<4>，活塞將相互靠近，閥板將在“0°"位置打開。如果壓縮空氣進入壓縮空氣連接<2>，壓縮空氣連接<4>被排出，活塞將彼此遠離，閥板將在90°位置關閉。在此位置，閥板的樞轉角度可以用調節螺釘A或B調節±5°，并在閥門未受壓時用相應的防松螺母固定。閥板的平行度可能會因操作、長期儲存、污染等而發生變化。閥板在平行度≤5mm時是緊密的。

VAT真空閥的設計適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和 超高真空條件。

VAT真空閥是在潔凈室條件下生產的，并為其各自的應用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性，即使在 的運行條件下也表現佳。64.8 超高真空控制閘閥系列設計用于在超高真空工藝中為各種應用（如半導體生產中的濺射或 EUV）提供可靠、精準的控制和隔離。該系列滿足耐用性、模塊性、密封性和可維護性的標準要求，并且特別注重長正常運行時間和低購置成本。
64.8 系列采用 VATLOCK 技術，可提供可靠的密封，同時不會在閥板密封處產生任何摩擦。閥板可充當節流元件，改變閥門開度的流導特性。設備上壓力控制器可計算所需的閥板位置以達到設定點壓力。步進電機執行驅動。編碼器監控閥板位置。這樣可確保快速準確地控制過程壓力。位于關閉位置的專用 VATLOCK 鎖定機制能夠確保在斷電的情況下，將密封隔離與故障保護關閉相結合。
超高真空性能通過金屬閥蓋密封、波紋管密封饋通件和硫化閥板密封件（O 型圈為選件）實現。
64.8 高真空閘閥已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其 的可靠性。憑借自身堅固的無潤滑劑設計，64.8 超高真空控制閘閥系列滿足高循環真空控制閘閥的所有要求